Auto FOUP Cleaner

外形尺寸：L*W*H(单位mm)=3900x3700x3200mm（进厂搬运组件最大宽度1600mm）

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Auto FOUP Cleaner

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片盒清洗设备

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Auto FOUP Cleaner

外形尺寸	LWH(单位mm)=3900x3700x3200mm（进厂搬运组件最大宽度1600mm）
设备重量	8500Kg
设备特点	高产能(≥35ea/h)、有效真空时间长、无附属设备、多Buffer区设计、可选ppb级AMC检测系统
清洗、干燥形式	全自动喷淋式清洗，内外喷淋，FOUP旋转；IR加热+Hot CDA吹扫干燥
AMC去除方式	真空去除、真空+N2冲洗去除
AMC检测方式	洗前/后FOUP检测、FOUP带晶圆检测等
控制形式	支援SECS/GEM协议通信、机台电脑控制，可存储多个Recipe
安全性能	晶圆存在检测、光栅检测、Interlock、防呆设计、漏液检测等配备齐全
可靠性能	①ULPA高效过滤器≥99.9995%@（0.1-0.2）um；②静电离子消除
性能参数	电压：3相，AC380V，50Hz；功率：Max 200KW；UPW压力：0.4MPa
性能参数	UPW流量：Max 40L/min；工艺CDA压力、流量：0.7MPa、Max 4*3500L/min

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